無菌潔凈室

　　潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照 際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

　　每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了 際無塵標準的A級。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方英寸1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

　　空態(tài):已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是，在設施內(nèi)沒有操作人員操作的設備。

　　靜態(tài):各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施)，但是設施內(nèi)沒有操作人員。

　　動態(tài):處于正常使用的潔凈室，服務功能完善，有設備和人員;如果需要，可從事正常的工作。

　　單向流(層流)潔凈室原理

　　在潔凈室內(nèi)，從送風口到回風口，氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化，加上進風靜壓箱和高 效過濾器的均壓均流作用，全室斷面上的流速比較均勻，而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點。這里的流線單向平行，是指時均流線彼此平行，方向單一。

　　單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的，所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學上的層流是完 全不同的概念。因此，層流潔凈室這個名詞是不貼切的， 外某些標準和文章也指出這一點，例如英 標準BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室，只是照顧習慣在括號中注明為層流。前聯(lián)邦德 標準VDl- 2083則用"非紊流的置換流"這一術語，并在注中指出，層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊(亂)流潔凈室而在當時采用的習慣用語，"層流系統(tǒng)"的確切意思并不是分層流動，而是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學中，這種流動狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中 在《空氣潔凈技術措施》中選用了"平行流"這個術語，在該術語后面同時也指出習慣上稱"層流"。